发明名称 |
一种可调制带隙宽度的镓铟氧化物薄膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种可调制带隙宽度的镓铟氧化物薄膜及其制备方法。该镓铟氧化物薄膜具有通式Ga<SUB>2(1-X)</SUB>In<SUB>2X</SUB>O<SUB>3</SUB>,式中x=0.1-0.9;随着铟含量x从0.9减少到0.1,该薄膜材料的带隙宽度从3.72增大到4.58eV。采用有机金属化学气相淀积工艺,以三甲基镓[Ga(CH<SUB>3</SUB>)<SUB>3</SUB>]和三甲基铟[In(CH<SUB>3</SUB>)<SUB>3</SUB>]为有机金属源,用氮气作为载气,用氧气作为氧化气体,用有机金属化学气相淀积设备在真空条件下在衬底上500~800℃生长镓铟氧化物薄膜。本发明的镓铟氧化物薄膜材料,由于其带隙宽度大于GaN、In<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>和ZnO,适合于用来制造紫外及透明半导体器件。 |
申请公布号 |
CN101262017A |
申请公布日期 |
2008.09.10 |
申请号 |
CN200810015687.0 |
申请日期 |
2008.04.14 |
申请人 |
山东大学 |
发明人 |
马瑾;杨帆;栾彩娜 |
分类号 |
H01L31/032(2006.01);H01L31/18(2006.01);H01L33/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/032(2006.01) |
代理机构 |
济南金迪知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王绪银 |
主权项 |
1.一种可调制带隙宽度的镓铟氧化物薄膜材料,具有如下通式:Ga2(1-X)In2XO3,式中x为In/(Ga+In)原子比,x=0.1-0.9;随着铟含量x从0.9减少到0.1,该薄膜材料的带隙宽度从3.72增大到4.58eV,当0.1≤x≤0.2时该薄膜具有β-Ga2O3的结构,当0.2<x<0.7薄膜具有混相结构,当0.7≤x≤0.9,薄膜具有立方In2O3的结构。 |
地址 |
250100山东省济南市历下区山大南路27号 |