发明名称 METHOD & SYSTEM FOR FORMING FILM
摘要
申请公布号 KR960014698(B1) 申请公布日期 1996.10.19
申请号 KR19930031750 申请日期 1993.12.28
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB K.K. 发明人 ITO, KENJI;HAYASHI, SHIGENORI
分类号 H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
地址