涂胶系统

摘要

本发明提供一种涂胶系统，该涂胶系统包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，该至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；该四通阀的第一端与该过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与该排水管路相连接，第三端与该稀释剂容器相连接，第四端与该多通阀相连接；该过滤缓冲装置的另一端与该第一三通阀的第一端相连；该第一三通阀的第二端与该稀释剂容器相连，第三端与该光刻胶容器相连。本发明能够大大减少由于光刻胶切换造成设备停机的时间，提高了设备的生产效率。

主权项

一种涂胶系统，其特征在于，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接；所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连；所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。