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发明名称
Verfahren zum Zerlegen einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号
DE1427771(A1)
申请公布日期
1969.04.10
申请号
DE19651427771
申请日期
1965.02.05
申请人
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGS-GMBH
发明人
BAUER,ALFRED;KLOSSIKA,WALTER
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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