| 发明名称 |
METHOD OF FORMING SIO2 BY CONVERTING SIO REGION INTO SIO2 REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS59111333(A) |
申请公布日期 |
1984.06.27 |
| 申请号 |
JP19830149747 |
申请日期 |
1983.08.18 |
| 申请人 |
INTERN BUSINESS MACHINES CORP |
发明人 |
SAMIYUERU EMIIRU BURAMU;KAREN HIRU BURAUN;RANGASUWAMII SURINIBASAN |
| 分类号 |
C01B33/113;B01J19/12;C01B33/12;C04B41/50;C04B41/87;H01L21/316 |
主分类号 |
C01B33/113 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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