| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN HALFGELEIDERINRICHTING WAARBIJ OP EEN HALFGELEIDERSUBSTRAAT EEN NEGATIEF BEELD WORDT GEVORMD IN EEN POSITIEVE FOTOLAK. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL8601096(A) |
申请公布日期 |
1987.11.16 |
| 申请号 |
NL19860001096 |
申请日期 |
1986.04.29 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
G03C1/00;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/312;G03C1/60;H01L21/47 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
