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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01161872(A) 申请公布日期 1989.06.26
申请号 JP19870320813 申请日期 1987.12.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWADA HARUO
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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