| 发明名称 |
SOLID MEASUREMENT CALIBRATING METHOD FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01161648(A) |
申请公布日期 |
1989.06.26 |
| 申请号 |
JP19870320761 |
申请日期 |
1987.12.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HONMA KOICHI;KATO MAKOTO;FURUMURA FUMINOBU;FURUYA HISAHIRO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/256 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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