| 发明名称 |
ROTARY DRYER DEVICE FOR USE IN CLEANING WAFER AND METHOD FOR CLEANING WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661212(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920236389 |
申请日期 |
1992.08.11 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHITOME SHOKICHI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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