| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661198(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920212554 |
申请日期 |
1992.08.10 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKIZAWA YUTAKA;YANAI KENICHI;OKI KENICHI |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/02;C23F4/00;C30B25/02;G09F9/30;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/302;H01L29/784 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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