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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0661165(A) 申请公布日期 1994.03.04
申请号 JP19920213909 申请日期 1992.08.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOMATSU NORIYO;OSHIKA KATSUSHI
分类号 H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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