| 发明名称 |
Method and device for generating ion beams with a large beam cross-section. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0377445(B1) |
申请公布日期 |
1994.05.11 |
| 申请号 |
EP19900100045 |
申请日期 |
1990.01.02 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
JANES, JOACHIM, DR. |
| 分类号 |
H01J27/10;(IPC1-7):H01J27/10;H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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