射频化学气相沉积法合成β-C<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>超硬薄膜材料

摘要

本发明公开了一种新的射频化学气相沉积法合成β-C₃N₄超硬薄膜材料的方法。它是采用乙炔气和氮气为气源，采用RF-CVD方法合成超硬材料、晶体氮化碳薄膜，具有较高的显微硬度、耐腐蚀和耐氧化性能，是一高效、低成本合成优质氮化碳薄膜的方法，可以在各种材料、各种形状工件、较大尺寸工件上形成氮化碳薄膜。

主权项

1.一种新型射频化学气相沉积法合成β-C3N4超硬薄膜技术，其特征在于：采用按一定比例的乙炔气和氮气为原料，工件置于真空室内的射频电极上，在一定温度、真空度下，在射频电场作用下辉光放电而离子化成等离子体，碳和氮离子发生化学反应沉积生成氮化碳，再经原位退火，形成超硬氮化碳晶体化薄膜材料；