发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUIT, AND METHOD FOR REPLENISHING BOTH DIFFUSION AND SEGREGATION OF BORON FROM CHANNEL AND FIELD REGIONS TO SOURCE AND DRAIN REGIONS ADJACENT THERETO
摘要
申请公布号 JPH08330587(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19960051480 申请日期 1996.03.08
申请人 ADVANCED MICRO DEVICDS INC 发明人 MOHAMETSUDO ANJIYUUMU;KURAUSU EICHI KUUPU;MANGU EICHI KIYAU
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
地址