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发明名称 Vorrichtung zur Kathodenzerstäubung
摘要
申请公布号 DE4202349(C2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19924202349 申请日期 1992.01.29
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 SICHMANN, EGGO, 63571 GELNHAUSEN, DE
分类号 C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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