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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Packungsstruktur für einen integrierten Schaltungschip
摘要
申请公布号 DE68927931(T2) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19896027931T 申请日期 1989.07.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 GANSAUGE, PETER, DR., D-7030 BOEBLINGEN, DE;KREUTER, VOLKER, DIPL.-ING., D-7036 SCHOENAICH, DE;SCHETTLER, HELMUT, DIPL.-ING., D-7405 DETTENHAUSEN, DE
分类号 H01L21/60;H01L21/48;H05K1/11;H05K3/06;H05K3/24;H05K3/38;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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