| 发明名称 |
Digital circuit in MOS Technology |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen digitalen Schaltkreis in MOS-Technologie, bei dem auf einem Halbleiterkörper (1) eine dielektrische Schicht (5) vorgesehen ist. Zur Energieübertragung mittels eines Signales ist auf dem Halbleiterkörper (1) eine Mikrowellen-Streifenleitung (2) aus einer Metall-Streifenleitung (3) und einer Dotierungswanne (4) angeordnet. <IMAGE> |
| 申请公布号 |
EP0895289(A2) |
申请公布日期 |
1999.02.03 |
| 申请号 |
EP19980113094 |
申请日期 |
1998.07.14 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
BUCK, MARTIN |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L23/66;H01L27/04;H01P1/15;H03K17/16;(IPC1-7):H01L23/66 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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