摘要 |
Zur absoluten optischen interferometrischen Längenmessung wird ein einziger Laser (31) zeitsequentiell auf verschiedene Wellenlängen ( lambda 1, lambda 2) stabilisiert, bei stetigem, vorzugsweise linearem Übergang zwischen den beiden Wellenlängen. Während des Übergangs von der einen auf die andere Wellenlänge wird die Anzahl der durchlaufenden Interferenzen in einem Messkanal gezählt. Bei bekannten und stabilen Wellenlängen ( lambda 1, lambda 2) und Messung der Phasen ( phi 1, phi 2) der beiden Wellenlängen lässt sich die Länge (L) einer Messstrecke absolut messen. Gegenüber bekannten Verfahren wird mit der Erfindung unter Einsatz von aktiver integrierter Optik und Messung der Restphasen durch Kompensation in der integrierten Optik eine erhebliche Steigerung der Messgenauigkeit sowie der Auflösung erreicht, so dass sich Wellenlängenunterschiede von 10<-7> lambda nachweisen lassen.
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