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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11317336(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19990055603 申请日期 1999.03.03
申请人 HEWLETT PACKARD CO <HP> 发明人 FUNK KEVIN K
分类号 H01L21/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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