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经营范围
发明名称
A plasma etching control device
摘要
申请公布号
GB9928388(D0)
申请公布日期
2000.01.26
申请号
GB19990028388
申请日期
1999.12.02
申请人
ORBIS TECHNOLOGIES LTD
发明人
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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