发明名称 GEOMETRIE UND GESTALTUNGEN EINES GERÄTS ZUM MAGNETRONZERSTÄUBEN
摘要
申请公布号 AT189272(T) 申请公布日期 2000.02.15
申请号 AT19950117528T 申请日期 1990.11.12
申请人 OPTICAL COATING LABORATORY, INC. 发明人 SEESER, JAMES W.;ALLEN, THOMAS H.;DICKEY, ERIK R.;HICHWA, BRYANT P.;ILLSLEY, ROLF F.;KLINGER, ROBERT F.;LEFEBVRE, PAUL M.;SCOBEY, MICHAEL A.;SEDDON, RICHARD I.;SOBERANIS, DAVID L.;TEMPLE, MICHAEL D.;VAN HORN, CRAIG C.;WENTHWORTH, PATRICK R.
分类号 C23C14/35;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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