| 主权项 |
1.一种镀膜设备,包含:一动力单元,其系具有一旋转轴心;一传动机构,其系包含一第一齿轮及一第二齿轮,该第一齿轮系轴设于该旋转轴心,该第二齿轮系与该第一齿轮相啮合,该第二齿轮之中央具有一第一开口;一监控机构,其系具有至少二测试元件,且该监控机构系穿设于该第一开口;一基板承载机构,其系连设于该第二齿轮且具有一第二开口,该第二开口系与该第一开口相对而设,该监控机构系穿设于该第二开口;以及一镀膜源,其系与该基板承载机构及该等测试元件相对而设。2.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该监控机构更具有一遮罩部,该遮罩部系具有一孔洞且位于该等测试元件与该镀膜源之间,该孔洞系用以曝露该等测试元件之一。3.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该遮罩部系为可旋式,俾使该孔洞移动以曝露该等测试元件之另一。4.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该等测试元件与该基板承载机构之相对位置系为可调整。5.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该动力单元系具有一转速控制元件。6.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该基板承载机构系为一行星式基板承载机构。7.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该基板承载机构系为一伞具式基板承载机构。8.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该等测试元件系为石英测试元件。9.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该等测试元件系为玻璃基板。10.如申请专利范围第1项所述之镀膜设备,其中该动力单元系具有一扭力保护元件。图式简单说明:图1为一示意图,显示习知之镀膜设备的示意图;图2为一示意图,显示另一习知之镀膜设备的示意图;图3为一示意图,显示依本发明较佳实施例之镀膜设备的示意图;图4为一示意图,显示图3中区域A的详图,其系为遮罩部的示意图;以及图5为一示意图,显示依本发明另一较佳实施例之镀膜设备的示意图,其具有一行星式基板承载机构。 |
