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发明名称 VACUUM INLINE REMOTE PLASMA TREATMENT SYSTEM AND ITS METHOD
摘要
申请公布号 KR20070041887(A) 申请公布日期 2007.04.20
申请号 KR20050097498 申请日期 2005.10.17
申请人 APPLIED PLASMA CO., LTD. 发明人 KIM, SEONG YOUNG
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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