发明名称 MEMS switch actuating by the electrostatic force and piezoelecric force
摘要
申请公布号 KR100726436(B1) 申请公布日期 2007.06.11
申请号 KR20050068648 申请日期 2005.07.27
申请人 发明人
分类号 H01H59/00 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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