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发明名称
MEMS switch actuating by the electrostatic force and piezoelecric force
摘要
申请公布号
KR100726436(B1)
申请公布日期
2007.06.11
申请号
KR20050068648
申请日期
2005.07.27
申请人
发明人
分类号
H01H59/00
主分类号
H01H59/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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