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发明名称 METHOD FOR RAISING CHAMBER TEMEPRATURE AND HEATING APPARATUS THEREOF
摘要
申请公布号 KR20090046653(A) 申请公布日期 2009.05.11
申请号 KR20070137253 申请日期 2007.12.26
申请人 POWERTECH TECHNOLOGY INC. 发明人 WU VINCENT
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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