AN ARRANGEMENT FOR HOLDING A SUBSTRATE IN A MATERIAL DEPOSITION APPARATUS

摘要

본 발명은 재료 증착 장치(50)에서 기판(10)을 홀딩하는 장치(1)를 기재하고, 상기 기판(10)은 재료(M)가 증착되는 증착측(10a)을 갖고, 상기 장치(1)는 다수의 증착 개구부(D1)를 포함하는 섀도우 마스크(20); 다수의 주위 개구부(S1)를 포함하는 지지 구조물(30); 및 지지 구조물(30)을 홀딩하는 지지 구조물 홀딩 수단(6) 및/또는 기판(10)을 홀딩하는 기판 홀딩 수단(5)을 포함하고, 지지 구조물(k)(30)은 기판(10)의 증착측(10a)과 동일한 측에 있고, 섀도우 마스크(20)는 기판(10)과 지지 구조물(30) 사이에 위치되어, 섀도우 마스크(10)의 적어도 하나의 증착 개구부(D1)는 지지 구조물(30)의 대응하는 주위 개구부(S1) 내에 있다. 또한, 본 발명은 기판(10)을 홀딩하는 장치(1)를 포함하는 재료 증착 장치(50)를 더 기재한다. 또한, 본 발명은 재료 증착 장치(50)에서 기판(10), 섀도우 마스크(20) 및 지지 구조물(30)을 배치하는 방법을 기재한다.