/ Apparatus and Method for measuring thickness/composition of metal foil

摘要

금속 포일의 두께/성분 측정 장치 및 방법을 제시한다. 상기 금속 포일의 두께/성분 측정 장치는 하부 방향에 위치하는 금속 포일 시료에 X선을 발생시킨 후, 상기 금속 포일 시료를 투과한 투과 X선 및 상기 금속 포일 시료에 반사된 형광 X선을 동시에 검출하는 검출모듈; 및 상기 투과 X선의 투과량 및 상기 형광 X선의 전체 스펙트럼 강도를 이용하여 상기 금속 포일 시료의 두께 및 성분을 분석하는 분석모듈을 포함한다.