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发明名称 Einrichtung zur Herstellung duenner Schichten auf einem Traeger mittels Ionenstrahl-Zerstaeubung
摘要
申请公布号 DE1515318(A1) 申请公布日期 1969.07.31
申请号 DE19641515318 申请日期 1964.12.28
申请人 VEB KERAMISCHE WERKE HERMSDORF 发明人 MANFRED VON ARDENNE,DR.H.C.;SIEGFRIED SCHILLER,DIPL.-PHYS.DR.;HIRSCH DRESDEN-WEISSER;ULRICH HEISIG,DIPL.-PHYS.
分类号 C23C14/46;H01J37/305 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
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