发明名称 Verfahren zum Herstellen elektrisch gut leitender duenner Schichten,insbesondere fuer Halbleiterbauelemente
摘要
申请公布号 DE1589975(A1) 申请公布日期 1970.04.30
申请号 DE19671589975 申请日期 1967.10.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 PHILIP CASTRUCCI,PAUL;WITT,DAVID DE;ABHIMANYU DHAKA,VIR;EDWARD MUTTER,WALTER
分类号 H01L21/00;H01L21/331;H01L23/485;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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