| 发明名称 |
PLASMA PASSIVATION OF PLASMA-ETCHED ALUMINIUM FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2080737(A) |
申请公布日期 |
1982.02.10 |
| 申请号 |
GB19810009583 |
申请日期 |
1981.03.26 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F4/00;C23F11/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F1/00;C23F9/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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