发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON SPEICHERZELLEN MIT EINEM EIN SCHWEBENDES GATE AUFWEISENDEN MOSFELDEFFEKTTRANSISTOR.
摘要
申请公布号 AT35483(T) 申请公布日期 1988.07.15
申请号 AT19840104503T 申请日期 1984.04.19
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN 发明人 KLINGENSTEIN, WERNER, DR. DIPL.-PHYS.;LONGO, HANS-EBERHARD, DIPL.-ING.
分类号 H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82;H01L29/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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