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发明名称
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON SPEICHERZELLEN MIT EINEM EIN SCHWEBENDES GATE AUFWEISENDEN MOSFELDEFFEKTTRANSISTOR.
摘要
申请公布号
AT35483(T)
申请公布日期
1988.07.15
申请号
AT19840104503T
申请日期
1984.04.19
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN
发明人
KLINGENSTEIN, WERNER, DR. DIPL.-PHYS.;LONGO, HANS-EBERHARD, DIPL.-ING.
分类号
H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82;H01L29/60
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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