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发明名称 POLYAMIDESTER-FOTORESIST-FORMULIERUNGEN GESTEIGERTER EMPFINDLICHKEIT.
摘要
申请公布号 AT35328(T) 申请公布日期 1988.07.15
申请号 AT19860100099T 申请日期 1986.01.07
申请人 MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG 发明人 MERREM, HANS-JOACHIM, DR.;KLUG, RUDOLF, DR.;HEROLD, THOMAS, DR.
分类号 (IPC1-7):G03C1/68;G03F7/10 主分类号 (IPC1-7):G03C1/68
代理机构 代理人
主权项
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