发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0637272(A) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 JP19920191109 申请日期 1992.07.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 HIEDA KATSUHIKO;NITAYAMA AKIHIRO;TAKATOU HIROSHI;OZAKI TORU;YAMADA TAKASHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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