发明名称 Procédé de fabrication d'un circuit intégré monolithique avec au moins un transistor à effet de champ CMOS et un transistor npn bipolaire.
摘要 <P>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit intégré monolithique, avec au moins un transistor à effet de champ CMOS et un transistor bipolaire npn, dans lequel une mince couche d'oxyde est recouverte avec une couche de polysilicium protectrice à la fois dans la zone du transistor bipolaire et dans la zone du transistor à effet de champ.</P>
申请公布号 FR2702307(A1) 申请公布日期 1994.09.09
申请号 FR19940002213 申请日期 1994.02.25
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH 发明人 NAGEL JUERGEN
分类号 H01L21/285;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/72 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
地址