发明名称 |
Procédé de fabrication d'un circuit intégré monolithique avec au moins un transistor à effet de champ CMOS et un transistor npn bipolaire. |
摘要 |
<P>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit intégré monolithique, avec au moins un transistor à effet de champ CMOS et un transistor bipolaire npn, dans lequel une mince couche d'oxyde est recouverte avec une couche de polysilicium protectrice à la fois dans la zone du transistor bipolaire et dans la zone du transistor à effet de champ.</P>
|
申请公布号 |
FR2702307(A1) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
申请号 |
FR19940002213 |
申请日期 |
1994.02.25 |
申请人 |
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH |
发明人 |
NAGEL JUERGEN |
分类号 |
H01L21/285;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/72 |
主分类号 |
H01L21/285 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|