发明名称 CALIBRATION METHOD OF PROTRUSION-DETECTION HEAD UNIT AS WELL AS METHOD AND APPARATUS FOR DETECTION OF PROTRUSION USING THIS METHOD
摘要
申请公布号 JPH06341825(A) 申请公布日期 1994.12.13
申请号 JP19940066596 申请日期 1994.03.10
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 KAWAGUCHI HIROSHI;NAKAKITA TAKASHI;HONMA SHINJI
分类号 G01B17/00;G01B17/08;G11B5/455;G11B5/84;(IPC1-7):G01B17/00 主分类号 G01B17/00
代理机构 代理人
主权项
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