发明名称 |
CALIBRATION METHOD OF PROTRUSION-DETECTION HEAD UNIT AS WELL AS METHOD AND APPARATUS FOR DETECTION OF PROTRUSION USING THIS METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06341825(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
申请号 |
JP19940066596 |
申请日期 |
1994.03.10 |
申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
KAWAGUCHI HIROSHI;NAKAKITA TAKASHI;HONMA SHINJI |
分类号 |
G01B17/00;G01B17/08;G11B5/455;G11B5/84;(IPC1-7):G01B17/00 |
主分类号 |
G01B17/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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