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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10143864(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960317051 申请日期 1996.11.13
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 SUGIYAMA MASAHIKO;SEGAWA MASARU;MATSUBAYASHI YOSHITERU;NAKAGAWA MASAMI
分类号 C23C14/04;G11B5/85;H01F41/20;(IPC1-7):G11B5/85 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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