| 发明名称 |
Suspended microstructures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU715673(B2) |
申请公布日期 |
2000.02.10 |
| 申请号 |
AU19960070565 |
申请日期 |
1996.11.01 |
| 申请人 |
ROCKWELL INTERNATIONAL CORPORATION |
发明人 |
WILLIAM E. TENNANT;ISORIS S. GERGIS;CHARLES W. SEABURY |
| 分类号 |
G01J1/02;G01J5/02;G01J5/20;G03F7/00;H01L21/302;H01L37/02;(IPC1-7):H01L25/04;G01J5/10;H01L21/50 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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