METHOD AND SIMULATOR FOR SIMULATING THE DEVELOPMENT OF RESIDUAL STRESS IN IAPVD FILMS

摘要

L'invention concerne un procédé informatisé de simulation du développement des contraintes résiduelles dans la croissance de pellicules IAPVD, utilisant une analyse par éléments finis, consistant à simuler le développement de contraintes associées à la condensation d'une nième couche de la pellicule, à simuler le développement de contraintes associées au bombardement ionique de l'ensemble de couches de la pellicule, de la nième à la (n-x)ème couche, et à alterner les deux étapes ci-dessus pour n=x à n=N, N étant le nombre de couches dans la pellicule, et x<<N. Les contraintes résiduelles sont calculées en fonction des niveaux de contraintes générées au cours des étapes du processus ci-dessus.