| 主权项 |
1、一种0.35微米投影光刻物镜，光学系统中无胶合面，其特征在于：物镜分三层结构，外层为通有恒温水的恒温密封上外套(38)和下外套(40)，中间层五节镜筒、内层光学元件和分隔固定光学元件的透镜框组件、平镜组件和光栏组件；物镜由28片透镜和光栏(69)、平镜(70)组成，从物面(1)的一侧开始依次包括：a)第一镜筒(4)，所述镜筒(4)从物的一侧开始依次包括：第一透镜(51)以及第一透镜框组件(2)；第二透镜(52)以及第二透镜框组件(3)；第三透镜(53)以及第三透镜框组件(5)；第四透镜(54)以及第四透镜框组件(6)；第五透镜(55)以及第五透镜框组件(7)；第六透镜(56)以及第六透镜框组件(8)；b)第二镜筒(13)，所述镜筒(13)从物的一侧开始依次包括：第七透镜(57)以及第七透镜框组件(9)；第八透镜(58)以及第八透镜框组件(10)；第九透镜(59)以及第九透镜框组件(11)；第十透镜(60)以及第十透镜框组件(12)；第十一透镜(61)以及第十一透镜框组件(14)；第十二透镜(62)以及第十二透镜框组件(15)；第十三透镜(63)以及第十三透镜框组件(16)；c)第三镜筒(17)，所述镜筒(17)从物的一侧开始依次包括：第十四透镜(64)以及第十四透镜框组件(18)；第十五透镜(65)以及第十五透镜框组件(19)；第十六透镜(66)以及第十六透镜框组件(20)；第十七透镜(67)以及第十七透镜框组件(21)；第十八透镜(68)以及第十八透镜框组件(22)；光栏(69)以及光栏组件(23)；平镜(70)以及平镜组件(24)；d)第四镜筒(27)，所述镜筒(27)从物的一侧开始依次包括：第十九透镜(71)以及第十九透镜框组件(25)；第二十透镜(72)以及第二十透镜框组件(26)；第二十一透镜(73)以及第二十一透镜框组件(28)；第二十二透镜(74)以及第二十二透镜框组件(29)；e)第五镜筒(30)，所述镜筒(30)从物的一侧开始依次包括：第二十三透镜(75)以及第二十三透镜框组件(31)；第二十四透镜(76)以及第二十四透镜框组件(32)；第二十五透镜(77)以及第二十五透镜框组件(33)；第二十六透镜(78)以及第二十六透镜框组件(34)；第二十七透镜(79)以及第二十七透镜框组件(35)；第二十八透镜(80)以及第二十八透镜框组件(36)；支撑整个物镜的大法兰包含在第三镜筒(17)中；物镜的光学系统为双远心系统；物镜的光栏(69)将物镜分为前后二大透镜组，前透镜组包括第一至第十八透镜共18个组件，后透镜组包括第十九至第二十八透镜共10个组件，光栏(69)的光栏面为前透镜组的像方焦面，也为后透镜组的物方焦面。 |
