发明名称 显微镜摄影装置及尺寸测定装置
摘要 本发明提供一种在具有多个摄影头的显微镜摄影装置及尺寸测定装置中、在任一个变为异常时能够通过其他摄影头覆盖的系统。提供一种显微镜摄影装置及尺寸测定装置,对于多个摄影装置分别设有退避区域,并且各个摄影头具有能够移动到被测定物件物的测定点的位置的行程,在摄影头为故障或非工作状态的情况下,能够通过其余的摄影头覆盖。
申请公布号 TW200736578 申请公布日期 2007.10.01
申请号 TW096105378 申请日期 2007.02.13
申请人 日立国际电气股份有限公司 发明人 伊从洁;野上大
分类号 G01B21/22(2006.01);G01B11/00(2006.01);G03B29/00(2006.01) 主分类号 G01B21/22(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本
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