真空设备之闸阀装置

摘要

一种真空设备之闸阀装置，架设在两个间隔之腔座间，包含：一个夹设在该等腔座间的基座、一转控机构，以及一个驱动机构，该基座包括两个各别设有一阀口的阀壁，在该等阀壁间具有一控制室，而该转控机构包括：一可转动地架设在基座上的阀控转轴，以及一与该阀控转轴连动地结合，并可往其中一个阀壁之内壁面贴靠的封闭板，上述封闭板具有一个面积大于阀口之贴合面，而该驱动机构可以驱动阀控转轴沿着一封闭方向及一开启方向转动。藉由转控的方式来打开或关闭该等阀口中的其中之一，可以使闸阀装置在制造上更为容易。