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发明名称 SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100801654(B1) 申请公布日期 2008.02.05
申请号 KR20060069383 申请日期 2006.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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