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发明名称 APPARATUS FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR PROCESS CHAMBER
摘要
申请公布号 KR100801344(B1) 申请公布日期 2008.02.05
申请号 KR20010072259 申请日期 2001.11.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/302;C23C16/455;F16L37/02;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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