SHOT DATA GENERATING METHOD AND MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM WRITING METHOD

摘要

본 발명의 일태양의 샷 데이터 생성 방법은, 멀티 하전 입자 빔을 이용하여 시료에 패턴을 묘화하기 위한 묘화 데이터를 입력하고, 묘화 데이터를 변환하여, 사전에 설정된 제1 조사 시간을 나타내는 제1 코드와, 조사 시간이 0인 것을 나타내는 제2 코드와, 제1 조사 시간이 아니며, 또한 조사 시간이 0도 아닌 것을 나타내는 제3 코드 중 어느 하나를 이용하여 멀티 하전 입자 빔의 각 빔용의 샷 데이터를 생성하는 것을 특징으로 한다.