| 摘要 |
使用済みの研磨材を含む研磨材スラリーからより高純度の再生研磨材を得る。研磨材が、酸化セリウム、ダイヤモンド、窒化ホウ素、炭化ケイ素、アルミナ、アルミナジルコニア及び酸化ジルコニウムから選ばれる少なくとも一種であり、ケイ素が主成分である被研磨物３を研磨した使用済みの研磨材を含む研磨材スラリーを回収するスラリー回収工程Ａと、回収された研磨材スラリーのｐＨが７〜１０となるようにｐＨを調整するｐＨ調整工程Ｂと、ｐＨ調整がされた研磨材スラリーに対し、無機塩としてアルカリ土類金属元素を含む金属塩を添加して研磨材を凝集させ、研磨材を母液より分離して濃縮する分離濃縮工程Ｃと、分離され、濃縮された研磨材を固液分離して回収する研磨材回収工程Ｄと、を経て使用済みの研磨材を含む研磨材スラリーから、研磨材を再生する。 |
