ROTATABLE SUBSTRATE HOLDER FOR USE IN VACUUM,申请号GB19770013151-传众专利搜索

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发明名称	ROTATABLE SUBSTRATE HOLDER FOR USE IN VACUUM
摘要
申请公布号	GB1537606(A)	申请公布日期	1979.01.04
申请号	GB19770013151	申请日期	1977.03.29
申请人	AIRCO INC	发明人
分类号	C23C14/50;(IPC1-7):C23C13/08	主分类号	C23C14/50
代理机构		代理人
主权项
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