SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND ITS ANALOGOUS DEVICE,申请号JP19880041986-传众专利搜索

发明名称	SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND ITS ANALOGOUS DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01220352(A)	申请公布日期	1989.09.04
申请号	JP19880041986	申请日期	1988.02.26
申请人	HITACHI LTD	发明人	KURODA KATSUHIRO
分类号	H01J37/248;H01J37/244	主分类号	H01J37/248
代理机构		代理人
主权项
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