| 摘要 |
<p>Ein Beschleunigungssensor besteht im wesentlichen aus einem einseitig eingespannten, in einem Gehäuse (1,24) angeordneten Biegebalken (2,2',8,13+14,20+21,23), der aufgrund seiner Massenträgheit in der Ebene der zu messenden Beschleunigung relativ zu dem Sensorgehäuse auslenkbar ist. Der Biegebalken ist in Form eines dünnen, relativ zu seiner Dicke d breiten b Bandes ausgebildet, das aus amorphem Metall besteht. Der Biegebalken ist einlagig oder mehrlagig aufgebaut. Bei mehrlagigem Aufbau führt die Reibung zwischen den einzelnen Lagen bzw. Bändern (13,14) zu einer Dämpfung der Schwingung. Ein geringer Luftspalt (L) zwischen den Wandungen (25,26,27) eines geschlossenen Gehäuses (24) und dem Biegebalken (23) führt zusätzlich zu einer Luftdämpfung der Biegebalken-Schwingungen.</p> |
