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发明名称 RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0211667(B1) 申请公布日期 1992.03.11
申请号 EP19860306125 申请日期 1986.08.07
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD. 发明人 HOSAKA, YOSHIHIRO;NOZUE, IKUO;TAKATORI, MASASHIGE;HARITA, YOSHIYUKI
分类号 G03C1/00;C08K5/28;C08L61/06;G03C1/72;G03F7/004;G03F7/008;G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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