| 发明名称 |
FILM FORMING METHOD AND FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04293775(A) |
申请公布日期 |
1992.10.19 |
| 申请号 |
JP19910057292 |
申请日期 |
1991.03.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MISAWA NOBUHIRO;OBA TAKAYUKI;SUZUKI HISAYA;HARA SHIGE |
| 分类号 |
C23C16/06;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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